产品特点

1、微波法气相石墨烯生长炉采用气相法制备石墨烯材料方式，采用微波热等离子体技术，适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产。
2、本产品等离子生长腔体采用洁净石英管结构，避免生产过程中的杂质污染，确保产品品质。
3、本产品设计连续气相生长功能，采用顶部4路进气混气，底部排料的结构。
4、本产品采用真空和微正压系统设计，反应室与外界密封设计，适合微波等离子体状态。
5、本产品设置真空管路和防爆泄压结构，支持真空、气氛和微正压环境。
6、本产品采用微波等离子体技术 ，功率智能调节，工艺性更稳定。
7、微波法气相石墨烯生长炉采用PLC程序控制，触摸屏操作，工艺路线可实现自动化控制，工艺数据可读取。

技术参数